Un microscope électronique à balayage (MEB) est un type de microscope électronique qui produit des images d’un échantillon en balayant la surface avec un faisceau focalisé d’électrons. Les électrons interagissent avec les atomes de l’échantillon, produisant divers signaux qui contiennent des informations sur la topographie et la composition de la surface de l’échantillon. Le faisceau d’électrons est balayé selon un modèle de balayage de trame, et la position du faisceau est combinée avec l’intensité du signal détecté pour produire une image. Le nombre d’électrons secondaires pouvant être détectés, et donc l’intensité du signal, dépendent, entre autres, de la topographie de l’échantillon. Certains MEB peuvent atteindre des résolutions supérieures à 1 nanomètre. Les échantillons sont observés sous vide poussé dans un MEB conventionnel, sous vide réduit ou dans des conditions humides dans un MEB à pression variable ou environnemental, et à une large gamme de températures cryogéniques ou élevées avec des instruments spécialisés.
AFM est un type de microscopie de sonde à balayage (SPM), dont la résolution démontrée est de l’ordre de fractions de nanomètre, soit plus de 1000 fois supérieure à la limite de diffraction optique. Les informations sont recueillies en “effleurant” ou en “touchant” la surface avec une sonde mécanique. Les éléments piézoélectriques qui facilitent des mouvements minuscules mais précis sur commande (électronique) permettent un balayage précis.
